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旭硝子 AGC CYTOP 非晶氟树脂型号体系与技术参数详解
2025-06-19
CYTOP 的型号命名遵循「分子量 - 类型 - 溶剂 - 温度 」的四维体系,具体规则如下:
前缀 :
CT :基础型号(如 CTL-809A)
CTX :标准分子量(25-30 万)
CTL :低分子量(15-20 万)
中间数字 :
809 :高温型(最高使用温度 180℃)
109 :中温型(最高使用温度 100℃)
107 :特殊改性型(如 CTL-107MK)
后缀字母 :
A :通用型(低折射率、高透光)
M :低分子量改性(溶液加工性优化)
SP2 :超精密过滤型(过滤精度 0.2μm,用于半导体光刻)
E/K :溶剂类型(E=HFE,K=HFC)
以下是基于旭硝子官网数据的详细型号解析:
型号
分子量
类型
最高温度
溶剂
浓度
过滤精度
典型应用
CTL-809A
低
A 型
180℃
PFC
9%
5μm
深紫外 LED 封装(265nm 透光率>85%)、高温生物芯片(耐 150℃灭菌)
CTX-809A
标准
A 型
180℃
PFC
9%
5μm
汽车 ADAS 传感器涂层(耐 180℃高温)、飞秒激光波导(Δn=+0.003)
CTL-109AE
低
A 型
100℃
HFE
9%
5μm
手机摄像头防反射膜(折射率 1.34)、微流控芯片(兼容水相环境)
CTX-109AE
标准
A 型
100℃
HFE
9%
5μm
医疗导管涂层(血液相容指数>95%)、柔性电子基材(厚度 0.1-10μm)
CTL-809M
低
M 型
180℃
PFC
9%
5μm
纳米压印光刻模板(表面粗糙度<2nm)、半导体防潮层(水蒸气透过率<0.01g/m2?day)
CTL-107MK
低
M 型
100℃
HFC
7%
5μm
可穿戴设备传感器(耐汗液腐蚀)、DNA 电泳芯片(254nm 透光率>80%)
CTX-809SP2
标准
S 型
180℃
PFC
9%
0.2μm
EUV 光刻胶掩膜(边缘粗糙度<5nm)、MEMS 器件封装(耐氢氟酸蚀刻)
CT-SOLV180
—
—
180℃
PFC
—
—
高温涂层稀释剂(沸点 180℃,用于 150℃以上固化工艺)
CT-SOLV100E
—
—
100℃
HFE
—
—
常温涂层稀释剂(沸点 101℃,用于旋转涂布 / 浸渍涂布)
CT-SOLV100K
—
—
100℃
HFC
—
—
环保型稀释剂(低 GWP 值,符合 RoHS 标准)
按温度需求选择 :
高温场景(>120℃) :优先选择809 系列 (如 CTL-809A),其 180℃耐温性可满足 LED 封装、汽车电子等需求1 。
常温场景 :109 系列 (如 CTX-109AE)性价比更高,适合消费电子涂层、医疗器件2 。
按加工工艺选择 :
溶液涂布 :
低分子量M 型 (如 CTL-809M)成膜均匀性更优,适合 0.1-1μm 超薄涂层;
标准分子量A 型 (如 CTX-809A)提供更好的机械强度,适合 1-100μm 厚膜1 。
干法成型 :SP2 系列 (如 CTX-809SP2)经过超精密过滤,无颗粒杂质,适用于光刻、半导体封装1 。
按应用领域选择 :
生物医学 :
CTL-109AE (HFE 溶剂)兼容生物相容性测试(ISO 10993),折射率 1.34 匹配水,用于细胞培养芯片3 ;
CTL-107MK (HFC 溶剂)耐生物缓冲液腐蚀,用于 DNA 电泳微通道3 。
光电子 :
CTX-809A (PFC 溶剂)在 200-2000nm 全光谱透光率>90%,用于深紫外光刻胶掩膜3 ;
CTL-809M (PFC 溶剂)表面自由能 6mN/m,抗蛋白吸附,用于生物传感器光波导4 。
半导体 :
CTX-809SP2 (0.2μm 过滤)颗粒含量<0.1 个 /ml,用于 EUV 光刻胶模板1 ;
CTL-809A (180℃耐温)耐 GaN 蚀刻液(如 HCl/NH4OH),用于第三代半导体封装2 。
CYTOP 以溶液形式提供,需根据溶剂沸点选择工艺参数:
PFC 溶剂(如 CT-SOLV180) :沸点 180℃,适合高温固化(150℃以上),但需注意通风防止氟化物残留。
HFE 溶剂(如 CT-SOLV100E) :沸点 101℃,适合常温快速干燥(80℃预烘 5min),但膜厚均匀性略逊于 PFC 体系。
HFC 溶剂(如 CT-SOLV100K) :环保型溶剂,GWP 值<1,适合医疗、食品接触类涂层,但耐候性稍弱。
加工注意事项 :
溶液需在氮气环境下储存,避免胺类化合物污染导致氟醚键水解;
旋转涂布速度建议 500-3000rpm,膜厚与转速平方根成反比(经验公式:厚度 = K/√转速);
固化曲线需严格控制:80℃预烘 5min→150℃固化 30min(PFC 体系)或 80℃固化 1h(HFE 体系),避免溶剂残留导致膜脆化。
2024 年新型号 :旭硝子推出CTX-809SP3 (过滤精度 0.1μm),用于 14nm 以下制程光刻胶掩膜,边缘粗糙度<3nm1 。
生物医学专用型号 :针对 3D 细胞培养需求,开发CTL-109AB (表面接枝羟基),接触角从 112° 降至 65°,促进细胞粘附3 。
成本优化 :50μm CYTOP 膜单价降至 $180/m2(2025 年),较 2020 年下降 28%,推动消费电子领域普及2 。
CYTOP 的型号体系通过分子量、官能基、溶剂和温度的组合,实现了从生物芯片到半导体封装的全场景覆盖。用户可根据温度耐受 (100℃ vs 180℃)、加工工艺 (溶液涂布 vs 干法成型)、应用环境 (水相 vs 高温化学)三大维度快速选型。建议优先参考旭硝子官网的在线选型工具 ,输入具体参数(如耐温、透光波长、膜厚)自动匹配最佳型号。