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日本信越化学 SIPR3251 厚膜 i 线光刻胶

2026-04-17

艾锐孚(上海)新材料科技有限公司-华东地区化工原料与特种新材料代理供应商,信越化学工業株式会社半导体光刻胶材料华东地区经销商,原厂原包,以优越的品质,合理的价格以及完善的售前售后服务得到新老客户的大力支持和好评,公司致力于化工产品和特种新材料产业的前沿技术和销售,联合众多进口化工品牌为客户打造最为舒适的服务。


在半导体制造与先进封装领域,信越化学 SIPR3251是全球用量最大、应用最广的厚膜 i 线(365nm)正性光刻胶,凭借 “高宽比、强耐蚀、广工艺窗口” 三大核心优势,成为 MEMS、封装凸块、RDL 制程的绝对主力材料,长期占据全球厚膜光刻胶市场核心份额。


SIPR3251 是信越化学旗下SIPR 系列的旗舰产品,属于DNQ 型酚醛树脂基 i 线 / G 线通用厚膜正胶,专为 1–20μm 厚膜光刻工艺设计,兼容 i 线(365nm)与 G 线(436nm)曝光光源,适配常规光刻机与先进投影光刻系统。


Shin-Etsu Chemical 信越化学 SIPR3251 核心性能优势:
1. 厚膜高分辨率,图形精度拉满
在 1–6μm 标准膜厚下,可稳定实现 ≤250nm 孤立线 / 半密集线 ** 的精准光刻,线条边缘垂直度好、粗糙度低;即使在 10–20μm 超厚膜工况下,仍能保持清晰图形边界,彻底解决厚膜工艺 “图形模糊、边缘塌陷” 痛点。
2. 耐蚀性超群,适配严苛刻蚀环境
采用独特 DNQ - 酚醛树脂复合配方,耐湿法腐蚀、干法刻蚀(RIE)、离子注入能力极强,刻蚀选择比高、保护层稳定性好,可抵御强腐蚀气体与等离子体冲击,大幅降低制程缺陷率。
3. 工艺窗口极宽,量产稳定性拉满
曝光宽容度大、对焦深度(DOF)优异,适配不同批次晶圆与设备差异;
显影兼容性强:优选 2.38% TMAH 显影液,也兼容 KOH 体系,工艺调整灵活;
附着力卓越:对硅、氧化硅、氮化硅、金属(Cu/Al)等基材均有强粘附力,杜绝脱落、浮胶问题。
4. 量产成熟度高,成本与良率平衡
作为全球量产 30 + 年的经典型号,SIPR3251 配方稳定、供应链成熟,良率稳定维持在 99.5% 以上;相比进口同类产品,性价比突出,是中高端制程 “降本增效” 的首选材料



Shin-Etsu Chemical 信越化学SIPR3251 先进封装应用:

凸块(Bump)制程:10–20μm 超厚膜用于金 / 铜凸块、焊盘图形制作,支撑 Flip Chip、BGA、CSP 等高端封装;
RDL(重布线层):1–6μm 膜厚用于精细线路与通孔光刻,适配 2.5D/3D 封装、Fan-out 制程;
晶圆级封装(WLP):作为永久保护层与图形化介质,提升封装可靠性与集成度。
2. MEMS 与传感器
用于微机电系统(加速度计、陀螺仪、压力传感器)的深槽刻蚀、结构图形化;
适配硅通孔(TSV)、微流控通道、光学元件等厚膜微加工场景。
3. 分立器件与功率半导体
功率器件:IGBT、MOSFET、二极管的离子注入保护层、刻蚀掩模;
光电器件:LED、光电二极管、图像传感器(CIS)的厚膜光刻与钝化保护。


艾锐孚(上海)新材料科技有限公司经销供应信越化学半导体光刻胶系列型号:

信越化学 SAIL5000 超薄 KrF 胶,高 NA 适配,用于 90nm 以下先进成熟制程
信越化学 ArF 干式 (193nm) 光刻胶
信越化学 SEVR1000 标准 ArF 干式胶,对标 JSR AR2772JN,用于 90nm 通用逻辑与 CIS
信越化学 SEVR2000 高分辨率 ArF 干式胶,用于 65?80nm 关键层图形
信越化学 SEVR3000 低缺陷 ArF 光刻胶,用于图像传感器 CIS 与低功耗芯片
信越化学 SEVR4000 接触孔专用 ArF 胶,用于 65?90nm Contact Hole 制程
信越化学 ArF 浸没式 (193nm) 光刻胶
信越化学 SEVR?i9300 浸没式 ArF 胶,用于 28?40nm 逻辑芯片量产
信越化学 SEVR?i9500 高 NA 浸没式 ArF 胶,用于 20?28nm 先进制程
信越化学 SEVR?i9700 超低 LER 浸没式胶,用于 3D NAND 与高密度存储
信越化学 EUV 光刻胶
信越化学 SEVR?E100 EUV 光刻胶,高稳定性,用于 7nm 先进逻辑芯片
信越化学 SEVR?E200 高分辨率 EUV 胶,用于 5nm 高端芯片制程
信越化学 厚膜 / 封装光刻胶
信越化学 THB151N 正性厚膜光刻胶,用于 5?20μm 电镀凸块、先进封装 RDL
信越化学 THB2000 负性厚膜胶,高耐刻蚀,用于 MEMS、深硅刻蚀制程